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TM106-LD 薄膜測厚/層積速率顯示儀

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TM106-LD薄膜測厚儀/層積速率顯示儀的工作原理，是依據(jù)所測樣品薄膜厚度的改變而導(dǎo)致石英晶片振蕩頻率改變。將所蒸發(fā)材料的密度輸入到測試系統(tǒng)中，便可測量層積薄膜的厚度。此款測厚儀的分辨率為0.037 Å。

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 TM106-LD薄膜測厚儀/層積速率顯示儀的工作原理，是依據(jù)所測樣品薄膜厚度的改變而導(dǎo)致石英晶片振蕩頻率改變。將所蒸發(fā)材料的密度輸入到測試系統(tǒng)中，便可測量層積薄膜的厚度。此款測厚儀的分辨率為0.037 Å。

 

技術(shù)參數(shù)

功率

400 mA, 5V (dc)

測試頻率范圍

6.0 - 5.0 MHz

頻率分辨率

+/- 0.03 Hz @ 6 MHz

測量區(qū)間

0.10s

參考頻率穩(wěn)定性

+/- 2 ppm

厚度和速率分辨率

+/- 0.037Å  基頻=6MHz

厚度顯示分辨率

1 Å  

尺寸

11.4 x 7.6 x 2.5 cm

重量

57g

操作系統(tǒng)

Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000

晶體探針架

  • 探針長度：120mm
  • 探針直徑：10mm
  • 安裝有水冷夾層，保持探針的溫度低于150℃

軟件

包括STM-2軟件
 

可選石英晶體

  • 含金石英晶體：用于測試金屬薄膜厚度
  • 合金石英晶體：用于測量非金屬薄膜厚度

安裝

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

應(yīng)用

  • 選擇合適的石英振蕩晶體，分為含金石英晶體和合金石英晶體
  • 含金石英晶體，適用于大多種材料測試
  • 合金石英晶體建議用于測試光學(xué)薄膜，介電薄膜或半導(dǎo)體膜等


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