◆ 三豐表面粗糙度測量儀SV-3100 系列產(chǎn)品可進行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微細輪廓測量，以及原有的表面粗糙度測量。
◆ 自動調(diào)水平工作臺、3 軸調(diào)整臺等外部設備的應用，有效增強了該產(chǎn)品的操作性能，同時也真正實現(xiàn)了自動測量。
◆ 安裝了專業(yè)資料分析軟件SURFPAK-SV 使用這一軟件，可對從車間和實驗室中得到的資料進行統(tǒng)一格式的管理。
◆ 采用陶瓷制作的 X 軸驅(qū)動部導軌，因為陶瓷具有的防磨損性能。無需潤滑油也能正常工作。
◆ 為了保證高精度測量，在 X 軸 和Y 軸(選件)上都內(nèi)置了高清晰度的玻璃尺(X 軸分辨率：0.05µm, Y 軸分辨率：1µm) 因為要保證SV-3100 系列產(chǎn)品具有高度的可靠性，特別是對于水平粗糙度參數(shù)(S, Sm), X 軸的分辨率就必須達到相當?shù)乃健?br>◆ 配有高精度測針。
◆ 配有多種功能，如“直線度補償功能” ，可確保X 軸的線性精度；“圓度補償功能”，可保證測針的垂直移動；以及“針尖半徑補償功能”等。
◆ 測針和測針導頭都可輕松替換。可選測針和滑軌可適應各種粗糙度測量的需要，如小孔測量、深孔測量等。
◆ 在各種型號中，還提供了易于操作的控制箱。控制箱與主機分離，可遙控執(zhí)行定位、開始／停止測量、返回以及遠程進行其他操作。驅(qū)動部的上／下位置和X 軸的移動都可手動進行微調(diào)。
技術(shù)參數(shù)X 軸
測量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05µm
檢測方法: 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 80mm/s
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向后
直線度: (0.05+1L/1000)µm*
(0.5µm/200mm: 測量范圍為200mm的型號)
傾角范圍: ±45º
Z2 軸 (立柱)
垂直移動: 300mm 或 500mm、動力驅(qū)動
分辨率: 1µm
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s
檢測器
范圍／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,
8µm / 0.0001µm (使用測頭選件
時，大可達2400µm)
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石、90º / 5µmR
(60º / 2µmR: 低測力型)
導頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動電感式
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型)
756 x 482 x 1166mm (H4 型)
1156 x 482 x 1176mm (W4 型)
766 x 482 x 966mm (S8 型)
766 x 482 x 1166mm (H8 型)
1166 x 482 x 1176mm (W8 型)
*L 為驅(qū)動長度 (mm)
評估能力: SURFPAK-SV
評估輪廓
P (主輪廓), R (表面粗糙度輪廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776 輪廓、包絡殘余線、粗糙度 motif、波形 motif
評估參數(shù)
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,
A2
粗糙度 motif 參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形 motif 參數(shù): Wte, , W, AW SW, SAW, NW
分析圖表
ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh 功率
譜圖、Walsh 自相關(guān)圖、 傾斜分布圖、局部峰值分布圖、
參數(shù)分布圖
濾波類型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正), 高斯-50%
截止波長*
λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取樣長度 (L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
取樣長度
傾斜補償、R 平面 (曲面) 補償、橢圓補償、拋物線補償、
雙曲線補償、二次曲線自動補償、 多項式補償、
多項式自動補償
* 可在0.025mm 至大移動長度間任意長度。
