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氣體質量流量控制器/流量計

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氣體質量流量控制器(MassFlowController,以下簡稱MFC)可對氣體的質量流量進行精密測量和控制;氣體質量流量計(MassFlowMeter,以下簡稱MFM)可對氣體的質量流量進行精密測量

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氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller,以下簡稱MFC)可對氣體的質量流量進行精密測量和控制;氣體質量流量計(Mass Flow Meter,以下簡稱MFM)可對氣體的質量流量進行精密測量。本產(chǎn)品應用的行業(yè)主要有:化學工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設備主要有:真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。


特點:

★ 穩(wěn)定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高

安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單

可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可通過模擬/數(shù)字信號轉換器(AD/DA轉換器)配合計算機使用


技術參數(shù):

基本型號

C51 

     氣體質量流量控制器

C51M

      氣體質量流量計

流量規(guī)格1(N2標定)

05,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

01,2,3,5,10,20,30 SLM

調(diào)節(jié)閥類型

常閉式

量程比

(2100)F.S. 50:1

流量分辨率

0.1F.S.

準確度

±1F.S. (15SLM)

±2F.S. (15SLM)

線性

±0.5F.S. (15SLM)

±2F.S. (15SLM)

重復精度

±0.2F.S.

響應時間

1sec

1sec

工作壓差范圍

0.1~0.5MPa (10SLM)

0.02MPa3MPa

0.1~0.3MPa (10SLM)

耐壓

3MPa

工作環(huán)境溫度

545

電纜接頭

DB15pin(針形)

輸入輸出信號

4~20mA0+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)

4~20mA0+5.00V (無輸入信號,輸出電流不大于3mA)

供電電源要求

+24VDC(≥300mA)

+24VDC(≥150mA)

對外單點泄漏率

1×10-9Pa·m3/S(He)

介質接觸材質

316316L,密封填料

密封材料

丁腈橡膠NBR,三元乙丙橡膠EPDM,氯丁橡膠CR,硅橡膠VMQ,
氟橡膠FKM,全氟橡膠FFKM,聚四氟乙烯PTFE

管道接頭尺寸

VCR型接頭:1/4 

雙卡套型接頭:1/81/4、3/8或φ3、φ6、φ8、φ10 mm

外形尺寸

長×寬×高:127×30×122 mm

凈重量

0.9kg

0.75kg









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