最小運動增量50nm
 | (1) 最小運動增量50nm (2) 無鐵芯直線電機，反應靈敏，滿負載加速度可達2000mm/s2 (3) ，適用于高精密環(huán)境 |
| 產品型號 | FMS115Z-150H |
| 行程（mm) | 150 |
| 負載(Kg） | 10 |
| 分辨率（um) | 0.01 |
| 最小運動增量(um)【1】 | 0.05 |
| 單向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.1 |
| 單向重復定位精度/典型值*(um) | |
| 雙向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.3 |
| 雙向重復定位精度/典型值*(um) | |
| 準確度/保證值*(um) | ±1 |
| 準確度【2】/典型值*(um) | |
| 速度（mm/s) | 50 |
| 直線度(um) | 2 |
| 平整度(um) | 2 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 5 |
| Pitch俯仰（"） | 5 |
| 持續(xù)推力（N) | 20 |
| 峰值推力（N） | 72 |
| 外形尺寸(mm) | 320X115X50 |
| 臺面尺寸（mm) | 115X115 |
| [1]：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量?？紤]傳動結構和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數都達到高水準要求，運動系統(tǒng)的準確度、重復定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復定位精度是否滿足應用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術指南 | |
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