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 | (1) 大承載 (2) 行程可選100-300mm (3) 性價比高 |
| 產(chǎn)品型號 | FMS120-100 | FMS120-200 | FMS120-300 |
| 行程（mm) | 50 | 50 | 50 |
| 負載(Kg） | 20 | 20 | 20 |
| 分辨率（um) | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
| 最小運動增量(um)【1】 | 4 | 4 | 4 |
| 單向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±4 | ±5 | ±5 |
| 單向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |||
| 雙向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±8 | ±10 | ±10 |
| 雙向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |||
| 準確度/保證值*(um) | ±15 | ±20 | ±20 |
| 準確度【2】/典型值*(um) | |||
| 速度（mm/s) | 40 | 40 | 40 |
| 直線度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 平整度(um) | 15 | 15 | 15 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 30 | 30 | 30 |
| Pitch俯仰（"） | 30 | 30 | 30 |
| 持續(xù)推力（N) | / | / | / |
| 峰值推力（N） | / | / | / |
| 外形尺寸(mm) | 360x120x56 | 460x120x56 | 560x120x56 |
| 臺面尺寸（mm) | 120x120 | 120x120 | 120x120 |
| [1]：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量?？紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達到高水準要求，運動系統(tǒng)的準確度、重復(fù)定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當(dāng)客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南 | |||
產(chǎn)品特性：
  | 步進電機的特征是采用開回路控制（Open-loop control）處理，不需要運轉(zhuǎn)量傳感器（sensor）或編碼器，且切換電流觸發(fā)器的是脈沖信號，不需要位置檢出和速度檢出的回授裝置，所以步進電機可正確地依比例隨脈沖信號而轉(zhuǎn)動，因此達成精確的位置和速度控制，且穩(wěn)定性佳。 |
| 德國的G1等級導(dǎo)軌 |  |
  | 的機械加工要求，保證Pitch、Yaw等基本參數(shù)的穩(wěn)定 |
| 標準接口 像搭積木一樣搭建運動控制系統(tǒng) |  |
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