主體采用不銹鋼加工而成
 | -主體采用不銹鋼加工而成 -采用真空步進電機，適用于10-3Pa真空環(huán)境 -高精密性交叉滾子軸承，運動輸死平滑，承載大 -步進/伺服電機和滾珠螺桿通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸器連接，消偏性能好，大大降低了偏心擾動且噪音小 -標配RS232接口，MSC系列運動控制器可對其實現(xiàn)自動化控制 -底座有標準孔距的通孔，方便安裝固定 -可根據(jù)客戶要求定制 |
| 圖片 |  |  |
| 產(chǎn)品型號 | FMSR100 | FMSR100V |
| 外形尺寸 | 217.5X116x45.5 | 210x116x45.5 |
| 臺面尺寸（mm) | Ø100 | Ø100 |
| 電機 | 鳴志42步進 | 真空42步進 |
| 持續(xù)扭矩（N.M) | \ | \ |
| 峰值扭矩（N.M） | \ | \ |
| 行程（°） | 360 | 360 |
| 大速度（°/s) | 20 | 20 |
| 垂直負載(Kg） | 10 | 10 |
| 分辨率（°） | 0.0025 | 0.0025 |
| 小位移量(°) | 0.005 | 0.005 |
| 單向重復(fù)定位精度(°) | ±0.005 | ±0.005 |
| 雙向重復(fù)定位精度(°) | ±0.01 | ±0.01 |
| 定位精度(°) | ±0.02 | ±0.02 |
| 端跳(um) | 25 | 25 |
| 徑跳(um) | 25 | 25 |
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