PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量，通過(guò)高級(jí)過(guò)程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。

PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀

PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量，通過(guò)高級(jí)過(guò)程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。

特點(diǎn)

光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)

光譜范圍 200-1100nm

快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法

Recipe編輯器

Recipe編輯器有助于簡(jiǎn)單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對(duì)一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測(cè)量、等離子體蝕刻監(jiān)測(cè)、表面潔度監(jiān)測(cè)、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測(cè)等，能夠快速簡(jiǎn)單的構(gòu)建模塊過(guò)程控制。

多種工具用于等離子體診斷

隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能。可選的波長(zhǎng)發(fā)生器（可以單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)）用于類(lèi)型確認(rèn)，而波長(zhǎng)編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過(guò)程控制信息。

PlasCalc 配置說(shuō)明

重量
5 kg

主要特點(diǎn)：
 

1.0nm（半zui大值全波）光學(xué)解析度
200～1100nm波長(zhǎng)范圍

快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法 
調(diào)制步驟編輯
調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置：例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。

用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫(kù)，可以另外單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)，它能夠提供種類(lèi)的鑒定；而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口，可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。