微電子等離子清洗機YZDO8-2C

等離子清洗機型號：YZDO8-2C
? 不銹鋼艙體：Φ100mm×270mm
? 處理過程：分手動與自動控制
PLC觸摸屏控制
? 功率：150W
? 電源：220V
? 射頻電源：40KHz（13.56KHZ可選配)
? 外形型號：440*390*200
容量：2升

微電子等離子清洗機YZDO8-2C

等離子清洗機型號：YZDO8-2C
• 不銹鋼艙體：Φ100mm×270mm
• 處理過程：分手動與自動控制
PLC觸摸屏控制
• 功率：150W
• 電源：220V
• 射頻電源：40KHz（13.56KHZ可選配)
• 外形型號：440*390*200
容量：2升

深圳三和波達(dá)機電科技有限公司生產(chǎn)的等離子清洗機YZD08-2C的基本結(jié)構(gòu)：
1、射頻電源部分：射頻源，射頻調(diào)節(jié)，功率放大，功率調(diào)節(jié)，功率輸出，輸出保護(hù)，等離子電極，溫度保護(hù)。
2、系統(tǒng)控制部分：數(shù)字自控，I/O控制，真空度A/D檢測，脈寬比例D/A調(diào)節(jié)，參數(shù)記憶，時鐘設(shè)定。
3、真空與氣路部分：真空系統(tǒng)，外加氣體，流量調(diào)節(jié)，回氣與管路
三和波達(dá)等離子清洗機、對于小型等離子清洗機而言，由于射頻功率較小，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內(nèi)，一是減少空間的占用，二是便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設(shè)置上盡量簡練。圖1為小型機外形。
小型等離子清洗機的工作流程和技術(shù)條件：
深圳小型等離子清洗機的系統(tǒng)在滿足設(shè)定真空度的條件下，啟動射頻源工作，產(chǎn)生40KHz 的射頻脈沖，經(jīng)過功率放大送到輸出級，輸出級的作用有三點：一是隔離，二是升壓，三是匹配，使具有足夠能量的射頻脈沖去激發(fā)高壓極板產(chǎn)生等離子。
功率大小的控制與調(diào)節(jié)可在系統(tǒng)中進(jìn)行數(shù)字設(shè)置，也可通過手動調(diào)節(jié)。實質(zhì)上功率的調(diào)節(jié)是由改變射頻脈沖寬度來實現(xiàn)的，圖4和圖5兩個射頻脈沖坐標(biāo)示意圖很形象的說明了功率調(diào)節(jié)的原理。
這里所說的理想情況下的射頻脈沖輸出，是不考慮器件和磁性材料的損耗而表示的，實際的射頻脈沖波形都是有一定畸變的，但當(dāng)畸變程度過大時，就會使輸出的有效功率大大降低，不僅不能正常產(chǎn)生等離子，而且還會燒毀設(shè)備。另外過多諧波脈沖分量也會造成射頻效率的降低，使設(shè)備不能正常工作，甚至燒毀。因此等離子清洗機對射頻電源的技術(shù)要求是很高的