容器材料：SUS304不銹鋼，卡套接口316不銹鋼。

凈化材料：銅觸媒（德國BASF）5公斤,分子篩（美國UOP）5公斤。

凈化能力：除氧60L，除水2公斤，系統(tǒng)密閉，泄漏率<0.001%vol/h。

水氧指標(biāo)：穩(wěn)定控制<1ppm,極限可達(dá)<0.1ppm。

循環(huán)系統(tǒng)

工作氣體：氮?dú)猓∟2）/氬氣（Ar）/氦氣（He），純度99.999%

循環(huán)能力：集成風(fēng)機(jī)流量：90m3/h，可變頻調(diào)節(jié)風(fēng)量；可提供更大風(fēng)量風(fēng)機(jī)，風(fēng)量145m3/h、180m3/h可選。

再生

操作：PLC程序控制，自動完成再生過程。

再生氣體：工作氣與氫氣混合的氣體（H2比例5%~10%）

真空泵

規(guī)格：抽速8m3/h、12m3/h或16m3/h可選，品牌：英國愛德華、德國萊寶、國產(chǎn)等，提供多種配置選擇。

閥門

主閥：DN40KF，電磁氣動角閥，鋁合金或不銹鋼閥體。

氣路控制閥：電磁閥，Φ10不銹鋼管，集成閥座氣路控制系統(tǒng)。