智能快速的自動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測顯微鏡可配置自動(dòng)對(duì)焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問題，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代。

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測顯微鏡可配置自動(dòng)對(duì)焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問題，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代。

***支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級(jí)此配件

虛焦?fàn)顟B(tài)

自對(duì)焦?fàn)顟B(tài)

智能高效的激光缺陷標(biāo)記

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊，通過配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識(shí)深度結(jié)合，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系，在完成多種亞微米級(jí)激光應(yīng)用的同時(shí)，通過數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)。

材料改性

鉻膜加工

缺陷標(biāo)記

激光修復(fù)

導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對(duì)比、準(zhǔn)確定位

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。

基于軟件中高級(jí)圖像分析能力,能夠?qū)⒕A的實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行實(shí)時(shí)對(duì)比，方便操作人員快速且精確的識(shí)別出兩者的差異。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利。

第三方兼容，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)0

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。