Janis CCR閉循環(huán)系列探針臺為研究人員提供了真空和低溫測試功能，而無需使用液態(tài)制冷劑。4 K、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的Gifford-McMahon（GM）技術(shù)進行可靠且價格合理的樣品冷卻。典型應(yīng)用包括MEMS、納米級電子、超導(dǎo)、鐵電、材料科學(xué)和光學(xué)。

配置：

● 振動小于1 µm

● 溫度范圍（安裝了4個探頭臂）從4.5 K到350 K（可選：6.5 K到475 K或6.5 K到675 K）

● 最多可容納2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：8英寸[200毫米]）（有關(guān)更多詳細信息，請參見規(guī)格表）

● 多達八個冷卻，易于互換的微操作探針臂

● 直流至67 GHz的電學(xué)測量

● 性價比高的LF探針，易于更換

● 三軸探頭臂的泄漏電流非常低（在1 V時通常為1至2 fA）

● 非接觸式，非破壞性的Kelvin探針

● 多頭探針

● 帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂

● 帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域

● 可選的特殊微型真空腔，可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺

● 適用于所有單筒望遠鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺

● 可選的可移動樣品座

● 客戶定制選件