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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)

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公司名稱 廣州四探針科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地 廣州市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/12/30 14:10:22
訪問(wèn)次數(shù) 38

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)可對(duì)樣品進(jìn)行49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描等測(cè)試

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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)


	可對(duì)樣品進(jìn)行49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描等測(cè)試；統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)生成2D和3D的map圖；
	屏蔽測(cè)試，消除光對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性；
	真空吸附防止全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)測(cè)試的影響；
	一體化嵌入式設(shè)計(jì)，觸控電腦屏幕操作，手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作；

RTS-1389型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過(guò)全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，對(duì)晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測(cè)量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

RTS-1389型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)通過(guò)采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù)，將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。因而在測(cè)試過(guò)程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對(duì)以上不利因素的自動(dòng)修正，顯著降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。

RTS-1389型全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)擁有友好操作測(cè)試界面，通過(guò)此測(cè)試程序輔助用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試操作，把采集到的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以Excel表格，2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來(lái)。方便用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

測(cè)量范圍	電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm；方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□；
可測(cè)晶片尺寸	2英寸～12英寸；（太陽(yáng)能電池片≤210mm*210mm）
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔
采樣電壓范圍	量程:000.00～199.99mV；(低阻擴(kuò)展時(shí),量程：00.000～19.999mV)　　　　分辨力：10μV；（低阻擴(kuò)展時(shí)，分辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2%
整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差	（用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω.cm 測(cè)試）≤±3% (23℃)
重復(fù)性	≤±0.5%
最小去邊距離	3mm
自動(dòng)測(cè)試選點(diǎn)方式	49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描。
測(cè)試數(shù)據(jù)處理	以Excel格式文件表格記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，并生成2D、3D的 map圖。用戶可對(duì)采集的數(shù)據(jù)在Excel中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析。
屏蔽和吸附測(cè)試	對(duì)樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測(cè)試，消除光和全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。
外形尺寸	580mm×475mm×450mm（深×寬×高）
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65%；無(wú)高頻干擾；