FTM107-A膜厚監(jiān)控儀

一．FTM107-A膜厚監(jiān)控儀應(yīng)用范圍：

FTM107-A膜厚監(jiān)控儀適用于普通蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間。

FTM107-A膜厚監(jiān)控儀采用的觸摸屏技術(shù)，控制和顯示均通過觸摸屏實現(xiàn)；同時配有數(shù)碼管顯示實時速率和厚度，以適應(yīng)習(xí)慣數(shù)碼管顯示的技術(shù)人員。到達設(shè)置厚度，自動關(guān)閉擋板或蒸發(fā)源。采用了更的軟件和硬件設(shè)備，進一步提高了儀器抗干擾能力。

二、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)特點：

1.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；

2.顯示薄膜厚度，可控制二個擋板/蒸發(fā)源；

3.監(jiān)控鍍膜層數(shù)達到99層；

4.提供RS232/RS485接口。

三、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)參數(shù)：

四．特殊功能：

（1）具有人工停止鍍膜功能

（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比

（3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測實厚、材料和層次