PVA&Tepla SIRD（原名Jena Wave） Scanning Infra-Red Depolarization 非接觸式內應力檢測系統(tǒng)

主要原理：
Wafer 下方有一個激光源，激光通過偏光器變成水平方向的一束激光透過wafer，被樣品上方的Photo Diodes 接收，若wafer 無應力，激光會直接透過wafer 而不會發(fā)生任何改變，相應的P 則不會接收到任何信號，對應的數(shù)值為0，最后得到的D 值為0，說明樣品內部無應力，若wafer 內部有應力，則激光的光束會變成橢圓形，再被分光鏡分光，這時P 就會接收到相應的信號，最后算出的D 值則大于0，說明樣品內部有應力。
主要應用：
由于wafer 內部的應力會導致產品在后續(xù)的工藝過程中產生缺陷，所以需要在wafer 制作時，或者在wafer 出貨到fab 廠時，量測wafer 內部的應力，確認是否可以出貨，或者用于后續(xù)的工藝過程，SIRD 用于monitor 產品各個工藝過程中產生的內部的應力，確認機臺何時需要更換parts，或者需要檢修，減少缺陷，提高產品良率。
應用實例：