超聲顯微掃查儀采用高頻聚焦超聲波探頭，基于超聲波檢測原理，可以對不透明物體表面、亞表面及其內(nèi)部一定深度內(nèi)的細微結(jié)構(gòu)進行顯微成像觀察，能夠檢測出材料內(nèi)部的雜質(zhì)顆粒、裂紋、分層、空洞、氣泡和孔隙等缺陷?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體和電子封裝缺陷檢測與失效分析、電路板焊接質(zhì)量檢測與分析、材料織構(gòu)觀測與研究、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的無損檢測與觀察。主要參數(shù)指標：2GHz采樣頻率, 400MHz帶寬, 高精度直線電機掃描，最小采樣間隔10m, 掃描速度1000mm/s。

機械運動部分
■多軸運動控制系統(tǒng)，XY軸選用直線電機，光柵閉環(huán)控制，光柵尺分辨率1 μm；
■X軸標準行程：300mm；
■Y軸標準行程：300mm；                
■Z軸標準行程：150mm；
■T軸工件旋轉(zhuǎn)軸（可選）；
■探頭角度調(diào)整：手動或電動AB軸（可選）；
可以實現(xiàn)XY水平面，YZ豎直面，TZ回轉(zhuǎn)曲面掃描。

超聲儀器傳感器
■脈沖激勵電壓：475V或900V兩款可選；
■系統(tǒng)通頻帶：0.1-35MHz/1-60MHz/40-165MHz三款可選；
■采樣頻率：50MHz到2GHz可調(diào)；
■重復(fù)頻率：5 KHz/10 KHz/20KHz三款可選；
■采樣深度：8位或14位兩款可選；
■高頻聚焦換能器：20-100MHz多款可選。

軟件部分功能
■光柵位置精確觸發(fā)，最小10μm采樣間隔；
■DMA高速數(shù)據(jù)傳輸，全波數(shù)據(jù)采集，閘門動態(tài)重構(gòu)；
■ABCD信號和圖像多種顯示模式；
■時域信號峰值和相位成像、信號頻域峰值等多種成像模式；
■多閘門設(shè)置、表面波或底面波閘門跟隨。