R50電阻率測量儀

Filmetrics R50系列提供接觸式四點探針（4PP）和非接觸式渦流（EC）測量。R50以1點/秒的速度映射導(dǎo)電膜的電阻率/電導(dǎo)率。電動X-Y載物臺使用你準縮廠收益或定制制樣品架，可測量300mm的樣品，可測量200mm的面積。

新!R50系列

• 四點探頭和渦流探測系統(tǒng)

• 以矩形，線性，極性和自定義配置

• X-Y行程200mm

• 在導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜上測量方塊電阻的范圍極大

• 接觸式和非接觸式測量

標準功能

• 具有以下功能的自動X-Y平臺:

   100mm x 100mm行程

   200mm x 200mm行程（-200型號）

• 100mm Z載物臺行程

• 傾斜臺，行程+/-5o

• 無限數(shù)量的測量樣本圖中的位置

R50規(guī)格參數(shù)

R50應(yīng)用

RsMapper軟件:

測量自動化地圖模式生成器，內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點圖案樣品的相關(guān)區(qū)域，從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時間。

這只是您可以使用的一些參數(shù)。

進行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點密度