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ZPT-X大型隔振光學(xué)平臺(tái)

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ZPT-X大型隔振光學(xué)平臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：■大型隔振光學(xué)平臺(tái)基礎(chǔ)根據(jù)用戶要求實(shí)驗(yàn)面積較大的使用情況研制開發(fā)的產(chǎn)品，其保持了原氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)，在重載荷下具有抗系統(tǒng)干擾的能力

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ZPT-X大型隔振光學(xué)平臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)：
■大型隔振光學(xué)平臺(tái)基礎(chǔ)根據(jù)用戶要求實(shí)驗(yàn)面積較大的使用情況研制開發(fā)的產(chǎn)品，其保持了原氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)，在重載荷下具有抗系統(tǒng)干擾的能力。
■氣動(dòng)元器件均采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品，標(biāo)配進(jìn)口無油壓縮機(jī)。
■該產(chǎn)品適用于對(duì)隔振要求較高，平臺(tái)工作臺(tái)面大，載荷要求高的環(huán)境。
技術(shù)指標(biāo)：
■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：<0.8μm
■固有頻率：1.2Hz～2.0Hz
■減振效率：x方向＜5Hz時(shí)：86%～92% y方向＜5Hz時(shí)：84%～90%

x方向＜10Hz時(shí)：90%～96% y方向＜10Hz時(shí)：88%～93%

■振幅：< 1.2μm
■重復(fù)定位精度：±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)


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