v廠家簡介

德國OEG公司成立于1991年，設(shè)計(jì)制造光學(xué)測量和半導(dǎo)體測量儀器，產(chǎn)品屬于高精密儀器，設(shè)計(jì)緊湊操作簡單，。深受廣大科研用戶的認(rèn)可。

產(chǎn)品包括：

? 金剛石切片機(jī)

? 晶圓平整度測量、曲率、應(yīng)力測量

? 光學(xué)測量平臺

? 電子準(zhǔn)直鏡

? 線寬、特征尺寸測量儀

? 接觸角、表面張力、表面自由能測量儀

? MTF測量儀

v晶圓平整度曲率應(yīng)力測量儀—Flatscan光學(xué)

光學(xué)非接觸表面測量儀，能進(jìn)行大范圍2D/3D測量，可測量晶圓應(yīng)力（薄膜應(yīng)力），表面半徑曲率和斜坡。

FLATSCAN適用于任意種類反射表面的：平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）及表面輪廓的非接觸式自動2D或3D測量，并通過軟件計(jì)算其薄膜應(yīng)力，如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等等。

v測量原理

表面輪廓：

垂直于樣品表面的入射光，經(jīng)過表面反射后形成的反射角，會因表面輪廓的不同而產(chǎn)生變化。FLATSCAN正是依據(jù)測量點(diǎn)之間反射角的變化，通過軟件重新計(jì)算并構(gòu)建了樣品表面輪廓，實(shí)現(xiàn)了全自動高精度的測量。

薄膜應(yīng)力：

對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應(yīng)力，軟件主要依據(jù)Fowkes的理論，通過檢測鍍膜前后，基板曲率半徑的變化量計(jì)算得到。比如在半導(dǎo)體行業(yè)或者其他應(yīng)用領(lǐng)域，當(dāng)反射表面被加工處理后（鍍膜或者去鍍膜），操作人員能夠利用FLATSCAN快速地對晶圓薄膜應(yīng)力進(jìn)行檢測。

v應(yīng)用

FLATSCAN適用于任意種類反射表面的，平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）的非接觸式測量，如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等。

v產(chǎn)品特性

? 高測量精度。

? 非接觸式測量。

? 3D/2D可選。

? 近似任意大小的可測量面積。

? 可以檢測更高的彎曲度。

? 適用于較大面積樣品的測量。

? 適用于高彎曲表面，如X射線反射鏡（多層膜反射鏡）、硅晶圓等。

v產(chǎn)品參數(shù)

1. 光學(xué)掃描系統(tǒng)

1.1非接觸式激光光源測量。

1.2具有自動測量晶圓的曲率，輪廓和薄膜應(yīng)力功能。

1.3具有3D/2D可選的應(yīng)力測量模式。

1.4光學(xué)系統(tǒng)可測量標(biāo)準(zhǔn)直徑200mm、300mm的晶圓及需求的更大的視野。

1.5輪廓測量重復(fù)精度100nm。

1.6掃描速度為10mm/s-30mm/s。

1.7光學(xué)系統(tǒng)曲率分辨率0.1arcsec，精度1arcsec。

2. 樣品臺

2.1樣品臺具有X，Y，Phi軸自動位移功能，并可以在軟件系統(tǒng)中控制和調(diào)節(jié)。

2.2具有自動調(diào)平功能。

3. 數(shù)據(jù)采集和記錄系統(tǒng)

具有方便易用的軟件系統(tǒng)，具有方便易用的軟件系統(tǒng)，具有友好的用戶界面；

軟件系統(tǒng)可以采集并記錄鍍膜前后的表面輪廓和曲率數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)鍍膜前后；

數(shù)據(jù)計(jì)算薄膜材料的應(yīng)力分布和翹曲度；

軟件可以讀出鍍膜前后的晶圓曲率半徑，顯示三維形貌。