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真空紫外光譜儀-235

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Model 235是McPherson的一款500mm焦距f/11.4的Seya-Namioka結(jié)構(gòu)單色儀。光學(xué)系統(tǒng)置于不銹鋼結(jié)構(gòu)的腔中,腔內(nèi)可以達(dá)到10^-7 Torr的真空度。...

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描述

Model 235是McPherson的一款500mm焦距f/11.4的Seya-Namioka結(jié)構(gòu)單色儀。光學(xué)系統(tǒng)置于不銹鋼結(jié)構(gòu)的腔中,腔內(nèi)可以達(dá)到10^-7 Torr的真空度。儀器使用1200g/mm的光柵時(shí),分辨率為0.05nm。入射和出射光束間的夾 角為70°15′。長(zhǎng)焦距保證了分辨率的提升和操作空間的增加。不銹鋼結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)在與可以保證很高的真空度,并且在與樣品室或微通道板增強(qiáng)器的連接中,更容易隔絕污染物。

Seya-Namioka結(jié)構(gòu)中所有元件(狹縫和光柵)都置于羅蘭圓上。在比較寬的波段保證了較好的分辨 率,針對(duì)不同的應(yīng)用來(lái)考慮象散的情況。儀器出射端成像的高度在理論上等于入射像的高度加上光柵刻線(xiàn)高度的2/3。25mm左右的出射像高并不罕見(jiàn)。當(dāng)使用光電倍增管(一個(gè)較大的光陰極)掃描排放源或樣品時(shí),或?qū)x器作為一個(gè)過(guò)濾器使用(來(lái)篩選等離子線(xiàn))時(shí),不存在任何問(wèn)題,對(duì)于其他的應(yīng)用,如果需要在一定程度上矯正光柵所引起的像差時(shí),在一定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)是可以做到的,以改善性能。

選擇合適的光柵,該光譜儀波長(zhǎng)范圍可以通過(guò)掃描方式從30nm覆蓋到1.2um.

235(1).jpg

Model 235 Seya-Namioka 結(jié)構(gòu)單色儀

更大的操作空間

內(nèi)部焊接的不銹鋼結(jié)構(gòu)

微米精度的可調(diào)狹縫

高分辨率

光柵繞其頂點(diǎn)旋轉(zhuǎn)

像差校正光柵可選

技術(shù)參數(shù)

焦距                           500-mm focal length Seya-Namioka design

出口狹縫與入口狹縫的角度70°   15'

f 數(shù)                           11.6

光柵                           30 x 50-mm ruled area

波長(zhǎng)精度                       +/-0.1-nm  

波長(zhǎng)重復(fù)性                     +/- 0.005 nm

 

 


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