運動行程(mm)

150X100

200X100

250X150

300X200

400X300

金屬臺尺寸(mm)

354X228

404X228

450X280

500X330

606X466

玻璃臺尺寸(mm)

210X160

260X160

306X196

350X250

450X350

● X、Y坐標示值誤差：(3+L/75) μm (L為被測長度，單位：mm)

● X、Y、Z數(shù)顯解析度：0.5μm

● Z軸升降行程：150 mm

● 光源：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

● 攝像機：進口彩色1/2〞CCD攝像機

● 變倍鏡頭：美國NAVITAR變倍鏡頭/帶同軸光變倍鏡頭

● 變倍鏡頭倍率：0.7X-4.5X

● 視頻倍率：23.5X-148X

● 物方視場：11.1mm-1.7mm (物方視場為對角線的長度)