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晶圓搬送機(jī)AL120-12

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 廣州元升科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 廣州市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/5/31 14:37:58
  • 訪問(wèn)次數(shù) 90

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AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便

  • 可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。
  • 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和安全傳送

  • 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
  • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
  • 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
AL120-LMB12-LP3 AL120-LMB12-F
晶圓尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm
卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開(kāi)門(mén)標(biāo)準(zhǔn)夾 
●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開(kāi)門(mén)搬運(yùn)盒 
●SEMI:M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù) 單盒(裝載、卸載兼用)
卡盒設(shè)置高度 900 mm
裝載端口 無(wú)
搬運(yùn)順序 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式 全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn) 非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式 真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa 
壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa
載物臺(tái) XY手動(dòng)吸附載物臺(tái),有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量(不包括顯微鏡) 約360 kg 約270 kg


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