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MT-300高精密半導(dǎo)體檢查金相工具量測顯微鏡

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光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)

觀察頭

30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,兩檔分光比 100/0 或 0/100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm,可帶測微尺

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位 5 孔轉(zhuǎn)換器

物鏡

5X無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡

 

10X無限遠(yuǎn)超長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡

 

20X無限遠(yuǎn)超長工作距平場消色差金相DIC物鏡

 

50X無限遠(yuǎn)長工作距平場明場消色差金相物鏡

 

100X無限遠(yuǎn)超長工作距平場明場半復(fù)消金相物鏡

放大倍率

光學(xué)放大倍率 :50X-1000X

 

系統(tǒng)放大倍率 :135X-2700X

測量顯微鏡主體

手動測量平臺(行程 200mm(X)×100(Y)mm,帶數(shù)顯器;樣品高度 175mm;
 測量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為測量長度(單位 mm) Z:(3+L/200)μm

 

手動測量平臺(行程 300mm(X)×200(Y)mm,帶數(shù)顯器;樣品高度 175mm;
 測量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為測量長度(單位 mm) Z:(3+L/200)μm

 

手動測量平臺(行程 400mm(X)×300(Y)mm,帶數(shù)顯器;樣品高度 175mm;
 測量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為測量長度(單位 mm) Z:(3+L/200)μm

照明系統(tǒng)

明場反射照明器,帶明場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶 5WLED 燈源,亮度可調(diào)(含托架適配器)

 

輔助對焦模塊,帶對焦分劃板兩檔,

調(diào)焦方式

手動粗微調(diào)手輪調(diào)節(jié),精度0.001mm,調(diào)焦距離 175mm

偏振光

起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

DIC 組件

微分干涉組件

相機(jī)

像素630 萬 ;3072(H)×2048(V) ;幀率 :30fps ;接口 :USB3.0 ;圖像傳感器 :CMOS(彩色)

攝像接口

0.65XCTV、C 型接口、可調(diào)焦

PC

品牌電腦和22寸顯示器

軟件

OMT-1.5精密測量軟件

標(biāo)尺

0.01mm



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