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集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。觀察樣品:Ø300 mm晶片，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
●電動鏡頭旋轉及光圈電動控制
●具明視野.暗視野.干涉相位差.偏光等功能選擇
●基座本體一體成型,加強防震效果,Z軸調焦1格1um
●目鏡筒可針對user高度上下調整角度,并外接CCD Camera或數(shù)字相機,將影像
儲存及傳輸
●目鏡有標準10X(FN22)or超廣角10X(FN25)供選擇
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