產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16M

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。

7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。

技術(shù)參數(shù)

1、靶：Ø50mm

2、真空室：Ø160mm×120mm

3、真空度：≤4×10^-2mbar

4、max電流：50mA（可選100mA）

5、可設(shè)定極限時間：9999s

6、微型真空氣閥：連接Ø3mm軟管

7、極限電壓：1600V  DC

8、機械泵：2L/s

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：360mm×300mm×380mm。

整體重量：50Kg

主機凈重：15Kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1個

2

進(jìn)氣針閥

1個

3

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材