捷歐路JEOL BS-80011BPG 產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子體槍是安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。

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