SPT-20小型離子濺射儀，預(yù)設(shè)八種靶材的濺射參數(shù)，可用于掃描電鏡制樣，也可用于其他小型鍍膜實驗。采用微處理器進(jìn)行全自動控制，LCD液晶屏顯示，設(shè)置簡單，一鍵操作，沒有任何使用經(jīng)驗的用戶，都可以獨立操作。具有穩(wěn)定的離子流，可以產(chǎn)生均勻的顆粒尺寸和均勻的鍍膜厚度。

SPT-20小型離子濺射儀，預(yù)設(shè)八種靶材的濺射參數(shù)，可用于掃描電鏡制樣，也可用于其他小型鍍膜實驗。采用微處理器進(jìn)行全自動控制，LCD液晶屏顯示，設(shè)置簡單，一鍵操作，沒有任何使用經(jīng)驗的用戶，都可以獨立操作。具有穩(wěn)定的離子流，可以產(chǎn)生均勻的顆粒尺寸和均勻的鍍膜厚度。

性能指標(biāo)

  快速抽真空，小于3分鐘
  預(yù)設(shè)的快速操作，一鍵操作
  條件設(shè)置簡單，
  自動真空控制
  完成鍍膜，自動卸載真空，
  樣品高度調(diào)節(jié)方便，
  靶的尺寸：直徑50.8mm（Au/Pt/Ag......  八種靶材）
  電源：220V,60Hz/50Hz ,300W
  離子流控制范圍：1-9mA
  電離電壓：~3KV
  濺射時間：10-300秒
  外形尺寸：420（W） x 220（D） x 230（H） mm 
  樣品室內(nèi)徑：100mm
  旋片式機械真空泵：24L/min