LGR大氣環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)適用于工業(yè)園區(qū)、廠界環(huán)境、大氣環(huán)境中的有毒氣體和痕量氣體的監(jiān)測。
LGR特征污染因子分析儀用于監(jiān)測H2S，NH 3，HCl，HF，HCN等特征污染因子。并可實現(xiàn)ppb級別精度的測量。即使在復(fù)雜的過程流中，分析儀也能在很寬的摩爾分數(shù)范圍內(nèi)快速報告測量結(jié)果（干式和濕式）。
LGR分析儀利用LGR獲得第四代腔增強吸收技術(shù)—離軸積分腔輸出光譜技術(shù)（OA-ICOS）。較之傳統(tǒng)的腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)，離軸ICOS具備諸多優(yōu)勢：對校準(zhǔn)不敏感、測量時間大大縮短，以及不需要昂貴的復(fù)雜元件等。
特點及優(yōu)勢
? 高分辨率吸收光譜，并實時顯示光譜圖。
? OA-ICOS的波長范圍寬，覆蓋從紫外到中紅外波段。
? 一個腔體可以提供多達2個激光器用于多組分分析。
? 反應(yīng)速度快，實現(xiàn)毫秒級或更短的相應(yīng)時間。
? 性能優(yōu)異，測量精度可達ppb級別；
? 通過互聯(lián)網(wǎng)可對儀器進行遠程控制
? 動態(tài)范圍更廣OA-ICOS直接測量吸收光譜，而非僅測量光腔衰蕩時間。相比傳統(tǒng)CRDS技術(shù)，OA-ICOS在明顯更廣的動態(tài)范圍內(nèi)呈現(xiàn)線性響應(yīng)（即針對某些氣體摩爾分數(shù)達*）。
? 更簡單的維護，鏡片清理不需要專業(yè)的工具和實驗室，不需要校準(zhǔn)光路，現(xiàn)場維護<20分鐘。
技 術(shù) 參 數(shù) |
| H2S與NH3分析儀 （H2S、NH3、CO2、H2O） |
| NH3 | H2S |
測量范圍 （3?，100秒） | 0~10000 ppb | 0~500 ppm |
工作范圍 | 0-200 ppm | 0-1000 ppm |
可重復(fù)性 /精度（1?） | <2 ppb（1s）， <0.9 ppb（10s） <0.3 ppb（100s） | <25 ppb（1s）， <10 ppb（10s）， <5 ppb（100s） |
響應(yīng)時間 | 3秒（帶外部N920真空泵） |
| HCl/HF分析儀 （HCl、HF、H2O） |
| HCl | HF |
測量范圍（3?，100秒） | 0~2000 ppb | 0~2000 ppb |
工作范圍 | 0-10 ppm | 0-10 ppm |
可重復(fù)性/精度（1?） | <0.4 ppb（1s）， <0.25 ppb（10s）， <0.1 ppb (100s | <0.1 ppb（1s）， <0.07 ppb（10s）， <0.05 ppb（100s） |
響應(yīng)時間 | 2秒（帶外部N920真空泵） |
輸出端口 | 輸出端口： 數(shù)字（RS232）、模擬、以太網(wǎng)、USB |
數(shù)據(jù)存儲 | 內(nèi)部硬盤（可選固態(tài)硬盤） |
環(huán)境濕度 | 0~* |
工作溫度 | 0~ 50 °C |
出入口接頭 | ?英寸、?英寸和?英寸SWAGELOK® |
電源要求 | 115/230 VAC，50/60 Hz |
重量： | 29千克（標(biāo)準(zhǔn)型）/40千克（增強型） |
應(yīng)用范圍
? 探測泄漏以保護個人安全
? 監(jiān)控空氣中污染物
? 監(jiān)視前開式標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒(FOUP)和氣相沉積容器
? 監(jiān)管兼容的 HCI 排放和煙氣監(jiān)控
美國ABB/LGR
