產(chǎn)品特點(diǎn)：

1，多種晶圓測(cè)量應(yīng)用

• 模塊量測(cè) - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測(cè)試 - 精確的壓力測(cè)試

• *的測(cè)試控制軟件套件

2，ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境

•  專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境，以得到的 1/f 超低噪測(cè)試結(jié)果

• 支援 fA 級(jí)超低噪 IV 量測(cè)

• 可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡(jiǎn)便操作

• 具配置彈性的溫度可量測(cè)范圍 -60 °C 至 300 °C
  
  

3，工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配

• 簡(jiǎn)易便利的前門單晶圓/待測(cè)物上片設(shè)計(jì)

• 內(nèi)建防震系統(tǒng)

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測(cè)操作

• 安全測(cè)試管理系統(tǒng) (Safety Test Management, STM™)

• 選配具自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制功能

• 預(yù)留制冷機(jī)組空間，節(jié)省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設(shè)長(zhǎng)度，提供的量測(cè)機(jī)能

設(shè)備簡(jiǎn)介：

TS3000-SE是TS3000探針臺(tái)系統(tǒng)的進(jìn)一步開發(fā)，配備MPI ShielDEnvironment™，可實(shí)現(xiàn)超低噪聲，極其精確和高度可靠的DC / CV，1 / f，RTS和RF測(cè)量，主要滿足設(shè)備的需求表征，  晶圓級(jí)可靠性以及RF和mmW  應(yīng)用。*的主動(dòng)冷卻探頭壓板設(shè)計(jì)可在-60°C至300°C的寬溫度范圍內(nèi)提供*的穩(wěn)定性，使TS3000-SE探頭系統(tǒng)成為在不同熱條件下測(cè)試設(shè)備的選擇。