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MTM-20 高分辨膜厚測控儀

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高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化

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高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性，可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化，以計算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過已知的膜密度和面積，而終精確計算出所沉積膜的厚度。

性能參數(shù)：

膜厚范圍:

0.0 - 999.9nm

分 辨 率:

0.1nm

密度范圍:

0.50 - 30.00g/cm³

修正因子:

0.25 - 8.0

存儲功能:

可存儲4組密度和修正因子數(shù)據(jù)

鍍膜控制:

可根據(jù)所設(shè)定的膜厚要求自動終止鍍膜過程


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