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日本iwatsu半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000

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日本iwatsu半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000
[新產(chǎn)品] CS-8000半導(dǎo)體曲線追蹤儀

高功率測(cè)試,大5kV,大2000A
精確的微電流測(cè)量(分辨率為250fA)
大屏幕12.1英寸觸摸屏
多種GATE信號(hào)輸出功能
廣泛的溫度特性測(cè)量選項(xiàng)
在探測(cè)器上進(jìn)行大功率晶圓測(cè)試

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日本iwatsu半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000

日本iwatsu半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000

日本iwatsu半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000

 

半導(dǎo)體曲線追蹤器CS-8000系列通過(guò)組合各種單元,非常適合在所有過(guò)程中進(jìn)行字符評(píng)估,并支持下一代半導(dǎo)體測(cè)量。
 
主要規(guī)格門極電壓電壓范圍大實(shí)測(cè)電流電流測(cè)量分辨率
±400.2?5千伏2 kA250 fA
 
實(shí)際測(cè)量的
好處
  • 兼容SiC和GaN器件
  • 兼容晶圓和低功耗設(shè)備
  • 兼容大功率設(shè)備
  • 支持分鐘電流測(cè)量
   
易于使用的用戶界面 
 
 除了觸摸屏操作外,還配備了12.1英寸TFT-LCD(1,280 x 800)高清大屏幕顯示屏,前面板的功能鍵和每個(gè)功能的獨(dú)立旋鈕使操作更加直觀。
 

①X-Y顯示區(qū)

 
可以分別在X軸和Y軸上設(shè)置任意電壓/電流參數(shù),并且可以顯示各種半導(dǎo)體特性曲線,例如Vds Id特性,閾值電壓和Vds-Vgs飽和特性。您還可以在Y軸上設(shè)置多個(gè)參數(shù)。刻度可以在對(duì)數(shù)/線性之間切換。
 
 

②Y-T顯示區(qū)

測(cè)量所施加的波形像示波器一樣顯示在時(shí)間軸上。由于可以實(shí)時(shí)確認(rèn)諸如脈沖寬度,測(cè)量點(diǎn)和振蕩之類的波形異常,因此很容易驗(yàn)證是否進(jìn)行了精確的測(cè)量。由于可以將所有施加的波形數(shù)據(jù)與XY顯示數(shù)據(jù)同時(shí)保存,因此可以重新驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。
 

③測(cè)量數(shù)據(jù)顯示區(qū)

 
詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果,測(cè)量條件和狀態(tài)以文本格式顯示。
 
 

④配置設(shè)定區(qū)

設(shè)置設(shè)備的測(cè)量配置。圖形顯示支持電壓/電流單位選擇和接線更改。
 

⑤參數(shù)設(shè)定區(qū)

 
在此區(qū)域中,您可以設(shè)置測(cè)量參數(shù)和測(cè)量極限,以及在手動(dòng)和自動(dòng)測(cè)量之間切換。
 
 

⑥操作面板

按鈕和旋鈕位于前面板上,便于手動(dòng)測(cè)量。位于中央的數(shù)字小鍵盤可讓您輸入?yún)?shù)的數(shù)值。可以使用DRAIN / COLLECTOR,GATE / BASE,垂直軸和水平軸旋鈕輕松進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量。
 

 
針對(duì)您的應(yīng)用量身定制的輸出源

可以根據(jù)需要根據(jù)需要選擇測(cè)量所需的電壓/電流單位。

 

右邊的照片是

上部:測(cè)試治具

下:大電流單位

 

■高壓?jiǎn)卧?/strong>

 
2kV,5kV高壓裝置。可以選擇直流/脈沖波。您可以選擇恒定電壓/恒定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。
主單元CS-8200CS-8500
大電壓
(大電流)
2 kV 
(20毫安)
5 kV 
(8毫安)
波形圖直流,脈沖
極性正面和負(fù)面的
實(shí)測(cè)電流分辨率250 fA
 
 

■中壓?jiǎn)卧ㄋ兄饕獑卧ㄓ茫?/strong>

大電壓
(大電流)
200 V(2安)
波形圖DC(200 mA),
脈沖(2 A),
SIN,半波,全波
極性正/負(fù)/雙極
實(shí)測(cè)電流分辨率250 fA
這是一個(gè)200V的中壓?jiǎn)卧?/font>您可以選擇恒定電壓/恒定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除直流和脈沖外,還可以選擇SIN,半波和全波波形。
 

■GATE單元(所有主要單元通用)

 
它是40V的單位。您可以選擇恒定電壓/恒定電流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除直流和脈沖外,還可以選擇SIN。
大電壓(大電流)40 V(1安)
波形圖直流,脈沖,正弦
極性正/負(fù)/雙極
實(shí)測(cè)電流分辨率250 fA
 
 

■HC單元

HC
單元
CS-205CS-210CS-220
大電流
(電壓)
500 A 
(50伏)
1 kA 
(50伏)
2 kA 
(50伏)
波形圖脈沖
脈沖寬度10μs至1 ms10μs至500μs
極性正面和負(fù)面的
配備大電流模式,它可以處理高達(dá)2000A的大電流測(cè)量。可以更改脈沖寬度,測(cè)量周期和測(cè)量范圍。
 

 
小電流分辨率250 fA
通過(guò)采用三軸測(cè)量和優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng),減少了設(shè)備中的泄漏和噪聲,從而能夠穩(wěn)定地測(cè)量微小電流。
 

 
各種GATE信號(hào)輸出

 

GATE信號(hào)可以順序輸出并施加。

 

保持時(shí)間可變范圍

0.000 [s]至5.000 [s]

 

儲(chǔ)備信號(hào)電壓范圍

門側(cè)-40 [V]?+40 [V]

 

 
磁滯測(cè)量

CS-8000具有方便的功能,用于測(cè)量具有滯后作用的SiC和GaN等寬帶隙半導(dǎo)體。

 

雙重掃描功能可同時(shí)顯示UP掃描和DOWN掃描,因此可以觀察到磁滯現(xiàn)象。

 

 
安全機(jī)制

除了互鎖功能外,它還具有輸出限制功能。

 

可以設(shè)置電壓,電流和功率極限值以防止損壞DUT。

此外,當(dāng)流過(guò)測(cè)量范圍電流的1.4倍時(shí),硬件的過(guò)電流保護(hù)功能會(huì)切斷電流。

 

 
組合組成

可以根據(jù)測(cè)量目標(biāo)的電壓和電流選擇HC單元和固定裝置。

■配置示例在2 kV下使用時(shí)2,000 A 
 主單元 CS-8200附件電纜 
 HC單元 CS-220 HV標(biāo)準(zhǔn)電纜套件CS-021
 測(cè)試治具 CS-322HV / HC HC標(biāo)準(zhǔn)電纜套件CS-022


 

CS-8000系列主要規(guī)格
主機(jī)型號(hào)名稱CS-8020CS-8200CS-8500(待定)
高壓?jiǎn)卧?/font>
大峰值電壓(大電流)2 kV(20毫安)5 kV(8毫安)
測(cè)量電壓范圍(滿量程)50 V?2 kV50 V至5 kV
測(cè)量電流范圍20 mA至50μA20 mA至50μA
小測(cè)得的電流分辨率250 fA250 fA
波形圖直流/脈沖直流/脈沖
中壓?jiǎn)卧?/font>
大峰值電壓(大電流)200 V(2安)
測(cè)量電壓范圍(滿量程)200 mV至200 V
測(cè)量電流范圍2 A?5 nA
小測(cè)得的電流分辨率250 fA
波形圖DC(200 mA),脈沖(2 A),SIN,半波,全波
門單元
大峰值電壓(大電流)40 V(1安)
測(cè)量電壓范圍(滿量程)1 V?50 V
測(cè)量電流范圍5 nA?1 A
小測(cè)得的電流分辨率250 fA
波形圖直流/脈沖/正弦(50 Hz)
標(biāo)準(zhǔn)配件電源線,控制接口終端器,說(shuō)明手冊(cè)(手冊(cè)+ CD)

 
 

HC單元型號(hào)名稱CS-205CS-210CS-220
大峰值電流(大電壓)500 A(50伏)1,000 A(50 V)2,000 A(50 V)
測(cè)量電壓范圍(滿量程)200 mV至50 V200 mV至50 V200 mV至50 V
測(cè)量電流范圍500 mA至500 A500 mA至1,000 A500 mA至2,000 A
波形圖脈沖
(寬度10μs至1 ms)
脈沖
(寬度10μs至500μs)
脈沖
(寬度10μs至500μs)
標(biāo)準(zhǔn)配件電源線,HC-FIXTURE連接單元,使用說(shuō)明書

*使用HC單元時(shí),需要單獨(dú)的檢測(cè)電纜。

 

測(cè)試治具型號(hào)名稱CS-320MV(即將推出)CS-322HV / HC
標(biāo)準(zhǔn)配件電源線,標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線組(CS-005 1套,7件套),使用說(shuō)明書
HV / HC電纜(2)

*需要一條單獨(dú)的電纜來(lái)連接測(cè)試夾具。

 

■電纜組(在連接到測(cè)試夾具或HC單元時(shí)使用。)
電纜組名稱型號(hào)編號(hào)產(chǎn)品名稱

CS-020

MV標(biāo)準(zhǔn)電纜套件

(CS-320的推薦裝置)

CS-0267條三軸電纜(L = 1.0 m)
CS-0271條控制接口電纜(L = 1.0 m)
CS-0281個(gè)互鎖/感應(yīng)電纜(L = 1.0 m)

CS-021

HV標(biāo)準(zhǔn)電纜套件

(CS-322的推薦裝置)

CS-025兩根高壓電纜(L = 1.0 m)
CS-0267條三軸電纜(L = 1.0 m)
CS-0271條控制接口電纜(L = 1.0 m)
CS-0281個(gè)互鎖/感應(yīng)電纜(L = 1.0 m)

CS-022

HC標(biāo)準(zhǔn)電纜套件

(HC單元的推薦設(shè)置)

CS-0271條控制接口電纜(L = 1.0 m)
CS-0281個(gè)互鎖/感應(yīng)電纜(L = 1.0 m)

 

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