美國ALICAT 22系列雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。22系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計(jì)模式，一臺閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺用于排氣，實(shí)現(xiàn)了僅用一臺設(shè)備便可同時控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓。
產(chǎn)品特點(diǎn) ：
● 數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（zui多5種成分），并存儲20種混合氣
技術(shù)參數(shù) ：
介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
zui大顯示流量：-*FS～*FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
響應(yīng)時間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間：<1s
標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-*,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng)：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護(hù)等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及
供電電流需咨詢我們
產(chǎn)品選型 ：
選項(xiàng)及配件 ：
●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字信號輸入&輸出
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
可調(diào)節(jié)PID算法
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
有條件的終身質(zhì)保
●可選性能
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
第二種模擬信號輸出
遠(yuǎn)程顯示屏
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個氣體（zui多4種）
不銹鋼閥門
集成式電位計(jì)控制
應(yīng)用及案例 ：
● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計(jì)量
● 過程工藝氣體測量
