產(chǎn)品測試原理類似于干涉顯微鏡，焦平面掃過樣品表面，與焦平面相交的點產(chǎn)生干涉條紋，計算機記錄干涉條紋出現(xiàn)的時間和位置還原出樣品表面形貌測試微小臺階高度。

NanoMap-D 臺階儀
是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計特點，彌補兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀、材質(zhì)的試樣進行表面形貌的研究。
臺階儀/三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。

NanoMap-D臺階儀測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的。垂直分辨率可達0.01 nm （ phase-shift mode） 可測跨學科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料（金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…）；
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等 
2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等 
3、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面 
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量 
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量 
6、微電子表面分析和MEMS表征


NanoMap-D臺階儀的主要特點：
高精度 
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）；2 nm（光學非接觸式） 
· 對周圍環(huán)境和光源的強適應(yīng)性 
· 沒有機械過濾 
寬闊的垂直測量范圍 
· 多種選擇光學頭及接觸式 
· 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm 
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi) 
試用于幾乎所有的表面 
· 透明，不透明，反射光強等多種材料 
· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞 
· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面 
· 尖銳的，堅硬的，磨損的表面 
適應(yīng)性強 
· 白光光源，人體安全設(shè)計，長壽命白光LED 免維護。可以用于各種環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。 
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的*結(jié)合 
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 
· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 
· 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍

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