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X射線光電子能譜(XPS)又稱化學分析用電子能譜，是利用單色X射線照射樣品表面，作用后產(chǎn)生光電子，通過測量原子內層的電子結合能來推知樣品中所含元素的種類，并通過分析結合能的化學位移，找到元素的價態(tài)變化或與電負性不同原子結合的證據(jù)。XPS能夠對材料表層的組織結構提供有價值的信息，與其他的檢測手段相比，XPS更適用于涂層和鍍層的表征。
X射線光電子能譜儀由進樣室、X射線激發(fā)源、離子源、樣品分析室、超高真空系統(tǒng)、電子能量分析器、信息放大檢測器和記錄系統(tǒng)等組成。
X射線激發(fā)源是用于產(chǎn)生具有一定能量的X射線的裝置。X射線源必須是單色的，且線寬越窄越好。
離子源的作用是清潔樣品表面或者對樣品表面進行定量剝離以對樣品進行深度剖面分析。在X射線光電子能譜儀中通常采用Ar離子槍產(chǎn)生離子源。Ar離子源又可分為固定式和掃描式。對樣品進行深度分析時，通常采用掃描式Ar離子源。
超高真空系統(tǒng)是為確保光電子的無碰撞運動和樣品表面的清潔狀態(tài)，從而使的分析結果更準確。激發(fā)源、樣品室、分析器和探測器都必須在超高真空條件下工作。
能量分析器用來測定樣品的光電子能量分布，是X射線能譜儀的核心，且要求對能量進行精確測量。分析器分為磁場式和靜電式兩種，常常采用靜電式。
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第四屆全國光譜大會
展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08