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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 用于光學(xué)器件精密加工

來(lái)源: 伯東企業(yè)(上海)有限公司    2023年01月04日 14:27  

某光學(xué)器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 應(yīng)用于光學(xué)器件精密加工, 通過(guò)蝕刻工藝提高光學(xué)器件的聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 技術(shù)參數(shù)

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片

Φ5 inch X 10片

Φ6 inch X 8片

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺(tái)

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國(guó) 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

中和器

LFN 2000

 

采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J  可以使 PV、RMS分別為1.347μm和340nm的粗糙表面, 通過(guò)蝕刻其粗糙度可降低至75nm和13nm; PV、RMS分別為61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 該刻蝕工藝能有效提高光學(xué)器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生


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