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GSL-LCD 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜zui大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6“的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

詳細信息 在線詢價

 GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜zui大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

 

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45ºC  
zui大壓力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
線性±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
zui大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±0.5-1.5%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電源        AC 220V/50Hz單相

功率

        23W

PLC觸摸屏

  • 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 
  •  RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制
     

 

機械壓力表

 

  • 有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接
  • 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

        316 不銹鋼

通氣管道

  • 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 
  • 外部通氣管道為1/4”聚四氟管

 

混氣罐

       Φ80X120mm

截止閥及配件

  • 316不銹鋼針閥 
  • Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

        600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認證

    CE認證

質(zhì)保期

    一年質(zhì)保期,終身維護

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CVD & PECVD 管式爐      (點擊圖片查看詳細資料)
   

 


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