◆功能：
主要針對wafer上每Die逐片點(diǎn)燈以進(jìn)行 光學(xué)性能，電氣性能 AOI檢測

◆規(guī)格：
wafer Probe： 支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自動上下料
客制化Prober Card，支持單通道&多通道測試
搭載151M光學(xué)光譜儀鏡頭 ，支持8K分辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測試
主動防震臺支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統(tǒng)整合

◆特點(diǎn):
·晶圓光學(xué)測試系統(tǒng)，8&12inch各種材質(zhì)晶圓;
·自動三軸運(yùn)動控制;
·Wafer上下料，自動對位，自動測試;
·多功能夾具，支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載，支持AOI與光學(xué)測試。