RegulusSU8010是日立的SEM的全新品牌，新品牌 "Regulus系列" 電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了化處理，使得著陸電壓在1kV時(shí)分辨率較前代機(jī)型提高了約20％。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了800萬倍。除此之外，為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化，如信號(hào)檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護(hù)輔助功能等。

日立SU-8010

掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應(yīng)用于納米材料、高分子復(fù)合材料、生物材料、能源類鋰電池材料/太陽能材料、礦物材料、冶金粉末、金屬材料、合金材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、考古文物等。近年來，新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復(fù)合材料等的研究作為科學(xué)技術(shù)的中堅(jiān)技術(shù)，在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察和評價(jià)，但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細(xì)微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。