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OLS5000激光器共焦光學顯微鏡可側量亞μm級的外貌和粗糙度。數據收集比賓得之前的光學顯微鏡型號規(guī)格快四倍，進而進一步提高了生產率。

405納米技術藍紫色激光器和專用型高數值孔徑物鏡能夠捕獲傳統(tǒng)式光學顯微鏡、白光干涉儀或鮮紅色激光器光學顯微鏡無法發(fā)覺的細致紋路和缺點。

簡易剖析作用可僅在特定檢測范圍內準確測量樓梯、圖形界限、粗糙度、總面積和容積。自動識別準確測量結果變化的緣故（如容積剖析中參照平面圖的邊沿部位和閥值）讓準確測量結果長期保持，不會受到操作工專業(yè)技能水準的危害。

智能化辨別解決可在高質量統(tǒng)計數據精密度的狀況下全自動清 除準確測量噪音，而智能化地面找平作用可檢測零高寬比部位的主平面（參照平面圖）。簡易一次點一下就能起動二項工作中。