高分辨率光學(xué)系統(tǒng)

顯示分辨率高達(dá)0.0001mm，工作臺(tái)X、Y向垂直度高，保證坐標(biāo)測(cè)量精度達(dá)（3+L/200）um，即使工件沒(méi)有擺正也可達(dá)到很高的測(cè)量精度。

速度快，噪音低

中國(guó)臺(tái)灣精密研磨級(jí)滾珠螺桿，三軸伺服馬達(dá)，配自主研發(fā)的GVC4000全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制器實(shí)現(xiàn)直線(xiàn)差補(bǔ)功能，同時(shí)可快速精準(zhǔn)定位，定位精度可達(dá)光柵分辨率2個(gè)當(dāng)量。

多種照明，滿(mǎn)足各類(lèi)需求

LED六環(huán)八區(qū)(三十二相) 表面環(huán)光+同軸落射光+底部平行背光，均可編程控制，能提供N種照明組合方式，滿(mǎn)足不同的照明需求。