德國(guó)Polytec MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測(cè)量被測(cè)物體的動(dòng)態(tài)特性，分辨率高，同時(shí)記錄和分析XYZ三個(gè)方向的振動(dòng)分量。

德國(guó)Polytec MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

MEMS系統(tǒng)的3D振動(dòng)測(cè)量：

實(shí)物的振動(dòng)通常是三維振動(dòng)。雖然可選擇優(yōu)先顯示某特定方向的振動(dòng)，但由于存在產(chǎn)品公差和其它影響，在其它空間方向也存在運(yùn)動(dòng)分量。 MSA-100-3D顯微式激光測(cè)振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測(cè)量被測(cè)物體的動(dòng)態(tài)特性，分辨率高，同時(shí)記錄和分析XYZ三個(gè)方向的振動(dòng)分量，每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級(jí)。

德國(guó)Polytec MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

實(shí)時(shí)振動(dòng)測(cè)量，高達(dá)25MHz的大帶寬

用于面外和面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量，振幅分辨率達(dá)亞皮米級(jí)

單點(diǎn)式和全場(chǎng)掃描式振動(dòng)測(cè)量

激光光斑小于4μm，橫向分辨率高

測(cè)試距離大，可達(dá)38mm

可與常見的MEMS商用探針測(cè)試臺(tái)兼容

德國(guó)Polytec MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀典型應(yīng)用：

慣性傳感器，如加速度計(jì)和陀螺儀

微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS)

打印機(jī)噴墨頭

壓力傳感器薄膜

耳機(jī)、微型鏡頭等