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- 公司名稱(chēng) 北京德華振峽科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2020/11/24 14:53:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 109
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FRT薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用膜層厚度測(cè)量傳感器,非接觸測(cè)量表面膜層,測(cè)量范圍從10nm--250um,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片、光學(xué)鍍膜加工、漆膜、氧化表面層測(cè)量。
FRT薄膜厚度測(cè)量?jī)x
薄膜層厚測(cè)量傳感器 FTR
薄膜層厚測(cè)量傳感器FTR為的膜層測(cè)量?jī)x器,通過(guò)于MicroProf型MicroGlider 型結(jié)合使用,可應(yīng)用于各種高精度的測(cè)量場(chǎng)合,其層厚分辨率可達(dá)1nm;非接觸無(wú)損測(cè)量更拓寬了其應(yīng)用場(chǎng)合;如光學(xué)鍍膜加工(膜層厚度、消光系數(shù)等參數(shù));半導(dǎo)體硅片表面膜層分析;氧化表面微細(xì)分析、漆膜等等
薄膜層厚測(cè)量傳感器FTR技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理 | 反射測(cè)量(非接觸) | ||||
光源 | 鹵素?zé)?/span> | 氚-鹵素?zé)?/span> | |||
波長(zhǎng)范圍 | 400—850nm | 650—1100nm | 400—1100nm | 250nm—850nm | 250—1100nm |
層厚測(cè)量范圍 | 50nm-20um | 70nm-70um | 50nm-100um* | 10nm-20um | 10nm-70um |
層厚分辨率 | 1 nm | ||||
X,Y軸分辨率 | 0.1um |
注:*----可選1um—250um
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