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FRT薄膜厚度測(cè)量?jī)x

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京德華振峽科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2020/11/24 14:53:38
  • 訪問(wèn)次數(shù) 109

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FRT薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用膜層厚度測(cè)量傳感器,非接觸測(cè)量表面膜層,測(cè)量范圍從10nm--250um,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片、光學(xué)鍍膜加工、漆膜、氧化表面層測(cè)量。

詳細(xì)信息 在線詢(xún)價(jià)

FRT薄膜厚度測(cè)量?jī)x

薄膜層厚測(cè)量傳感器 FTR

薄膜層厚測(cè)量傳感器FTR為的膜層測(cè)量?jī)x器,通過(guò)于MicroProfMicroGlider 型結(jié)合使用,可應(yīng)用于各種高精度的測(cè)量場(chǎng)合,其層厚分辨率可達(dá)1nm;非接觸無(wú)損測(cè)量更拓寬了其應(yīng)用場(chǎng)合;如光學(xué)鍍膜加工(膜層厚度、消光系數(shù)等參數(shù));半導(dǎo)體硅片表面膜層分析;氧化表面微細(xì)分析、漆膜等等

薄膜層厚測(cè)量傳感器FTR技術(shù)參數(shù):

測(cè)量原理

反射測(cè)量(非接觸)

光源

鹵素?zé)?/span>

-鹵素?zé)?/span>

波長(zhǎng)范圍

400—850nm

650—1100nm

400—1100nm

250nm—850nm

250—1100nm

層厚測(cè)量范圍

50nm-20um

70nm-70um

50nm-100um*

10nm-20um

10nm-70um

層厚分辨率

1 nm

X,Y軸分辨率

0.1um

注:*----可選1um—250um


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